光刻设备巨头ASML与比利时imec微电子研究中心签署五年期战略合作协议

3月11日，光刻设备巨头荷兰阿斯麦（ASML）与比利时微电子研究中心（imec）共同宣布，双方已签署了一项新的五年期战略合作协议。这一合作标志着两家在半导体领域具有深厚底蕴的机构将携手共进，共同推动半导体行业的创新与发展。

根据协议内容，ASML与imec将在先进工艺和可持续发展领域发挥各自的知识和专长。双方的合作将重点聚焦于开发推动半导体行业发展的解决方案，并制定以可持续创新为重点的计划。在半导体工艺方面，imec牵头建设的后2nm制程前沿节点SoC中试线NanoIC将导入包括High NA EUV光刻机在内的一系列ASML先进设备。这些设备的引入将为NanoIC中试线提供强大的技术支持，加速后2nm制程技术的研发与商业化进程。

除了半导体工艺领域的合作外，ASML与imec还将在硅光子学、存储和先进封装等前沿领域展开深入合作。这些领域的合作将有助于双方共同探索半导体技术的未来发展方向，并为整个半导体生态系统提供创新的解决方案。

值得一提的是，ASML还将为imec探索环境和社会效益的创新想法和活动提供资金支持。这一举措体现了ASML对可持续创新的重视，并彰显了其在推动半导体行业可持续发展方面的决心。

ASML总裁兼首席执行官Christophe Fouquet在签约仪式上表示：“这项协议标志着ASML和imec之间的长期合作迈出了新的一步。它标志着我们共同为半导体行业开发解决方案的雄心壮志，也符合我们投资技术和创新以造福全社会的战略。”

imec总裁兼首席执行官Luc Van den Hove也对此次合作表示了高度期待：“我们很高兴能继续与ASML保持长期独特的合作关系。30多年来，我们为业界提供了最先进的图案化解决方案。ASML完整产品组合的加入将使我们中试线的能力进一步增大和成熟，为整个半导体生态系统提供最先进的研发技术，以应对AI驱动的技术进步所带来的挑战。由于imec非常重视可持续创新，因此将这一事项明确纳入我们的合作伙伴关系是一个很好的补充。”