电能质量监测装置在某半导体公司的应用

摘 要：半导体生产制造业在国民经济中起着举足轻重的作用，相关企业的规模也越来越大。其供配电系统稳定、可靠的运维不仅是其安全生产的基本保证，还关系到产品质量和生产的顺利进行。而半导体行业中大部分工艺设备对电能质量比较敏感，电压暂降、谐波等电能质量问题会导致设备损坏、生产材料报废等产生较大的经济损失。因此，需要对半导体行业装设电能质量监测装置来监测供电的电能质量。




关键词：半导体；电能质量；电压暂降；谐波


1 项目概况
在国家政策的引导下，电子行业发展迅速，同时新建了大量电子行业工厂。工厂用电量大且大部分工艺需要不间断运行，配电系统结构复杂，设备一旦意外断电会导致重大损失，这就需要对供电可靠性要求非常高，对故障比较敏感；大部分工艺设备对电压、电流比较敏感，电压电流的变化会导致设备损坏、生产材料报废等问题；并且工厂电压等级比较多，出于供电可靠性要求和工艺设备需要电压等级不同，工厂配电电压从110kV到66kV、35kV、10kV、0.48kV、0.4kV不等，涉及的各电压等级变压器数量非常多。针对以上情况，需要配置电能质量监测装置来监测用电电能质量情况，为后续改善电能质量提供依据。  
某半导体有限公司成立于2018年05月29日，注册地位于四川省成都高新区。经营范围包括OLED等平板显示屏材料、电子材料及其相关产品的研发、测试、生产、销售、技术服务、技术咨询及其售后服务；提供分拨、保税仓储（不含危险化学品）、保税加工服务；国际贸易、转口贸易、保税区企业间贸易以及区内贸易代理；电子产品及其零部件、相关化工原料（不含危险化学品）的进出口、批发、佣金代理（拍卖除外）及相关配套业务（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）。
2 项目需求
本次项目为某半导体有限公司10/0.4KV用户变电站项目，该变电站供电系统为单母线供电系统，共设一面高压进线柜、一面计量柜、一面母线PT柜和四面专变出线柜。由于该公司主要生产电子材料、芯片等半导体设备，而半导体芯片制造生产中主要存在以下电能质量问题：
1、谐波问题
IC测试台、PLC控制的机械手、芯片制造用的晶圆机或变频控制的半导体机台都会产生大量的谐波，它们不但会造成机台设备自身的坏机现象，回流进电网的谐波电流还会引起其他回路的发热、电子开关误动作、供电电压不稳，甚至引起生产线停线、半成品的报废。而且高能设备如：外延设备、扩散设备、离子注入设备的频繁加卸载，更加重了用电环境的恶化。
2、电压暂降及中断
现代化的半导体生产设备对电力品质问题非常敏感，相对于传统工业来说，半导体、LCD制造对电压暂降非常敏感，持续16ms的幅值为额定值85%-90%电压暂降即可能导致设备停机。电压暂降与短时中断的差别在于短时中断时负载一般与供电系统基本断开（幅值低于额定值的10%），而电压暂降发生时负载仍与电源连接。对于半导体行业而言，两者均会造成设备停机，产生的结果是相同的，但是电压暂降发生的几率远高于短时中断会发生的几率。调查显示：在所有配电系统事故中，电压暂降引起的事故占了70%-80%；而在输电系统事故中，电压暂降引起的事故所占的比例超过了90%。
停机的概念在传统产业中只是生产暂时的中断，而对半导体、LCD生产来说就是一次灾难。因为半导体、LCD生产设备的停机会造成大量直接损失和间接损失。这些损失包括：
1）直接损失：半导体产品硅片损坏和浪费、设备寿命缩短甚至损坏、清理产线的人工成本等。
2）间接损失：重新启动生产线需要的时间、降低产品品质、延误交货时间等。
国家发改委经济调节运行局曾开展了电能质量经济性影响调查，经过大量的调研与分析，都表明电压暂降与短时中断都是*为显著的电能质量问题，成为供用电双方共同面临的挑战。其中半导体行业因电能质量扰动带来的生产损失高居前位。
因此，为了实时监测供电的电能质量，在本项目的高压配电进线柜处装设一台电能质量监测装置APView500，同时为了保证整个配电系统日常安全稳定运行，在每面高压开关柜装设一台AM5系列微机保护装置和一台ASD200智能操控装置；为了监测各回路的电能，在每面高压开关柜和低压柜均配置我司的多功能仪表。各类设备主要实现的功能如下：
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