美科学家用普通纸张制作出低成本MEMS元件

美国普渡大学(Purdue University)的研究人员将普通纸张，浸在由矿物油(mineral oil)与氧化铁纳米粒子的混合物中，并用该种材料制作小型的悬臂(cantilever)，就能利用磁场使其移动或振动；而这种技术将可催生低成本 MEMS元件，用以制造立体声麦克风、小型机器人或马达等，提供各种具潜力的应用。

研究人员指出，那些应用包括用以操控细胞的微型镊夹，以及微创手术(minimally invasive surgery)所需的灵活机械手指等。该种纸张上涂佈了生物相容的塑胶薄膜，因此能防水，避免液体蒸发并增进其机械特性。

“悬臂致动器通常是硅晶制成，不但昂贵、还需要特别的无尘室设备才能生产；”领导以上研究的普渡大学电子/电脑工程暨生物医疗工程教授Babak Ziaie表示：“该种铁纸(ferropaper)材料，不但成本低、容易替换，所生产的元件价格也会只有硅元件的百分之一；只要在纸张上滴一小滴，就能把它变成致动器或是马达。”

Ziaie并指出，因为这种技术成本低廉又不需要特别的实验室设备，也可供社区大学或是高中应用在微型机器人或是其他工程与科学理论的课程上。