维易科(VEECO)和ALLOS展示行业领先的200MM硅基氮化镓性能，推动micro-LED的应用
2018年02月06日 10:22 发布者：eechina
Veeco 公司 (Nasdaq: VECO)和ALLOS Semiconductors (ALLOS)达成了一项战略举措，展示了200mm硅基氮化镓晶圆用于蓝/绿光microLED的生产。维易科和ALLOS合作将其专有外延技术转移到Propel 单晶圆MOCVD系统，从而在现有 的硅生产线上实现生产micro-LED。 “使用Propel反应腔，我们就拥有了一项MOCVD 技术，这项技术能够实现高产量的GaN外延，满 足在200毫米硅生产线上生产micro-LED器件的所有要求，” ALLOS Semiconductors的首席执行官 Burkhard Slischka这样说。“不到一个月时间我们就已经在Propel上对我们的技术进行了验证， 并且获得了无裂纹、无回熔的晶圆，翘曲度低于30微米，晶体质量高，厚度均匀性优异，波长均 匀性小于1纳米。同Veeco携手，ALLOS期待着将该技术在micro-LED产业中更为推广。”
Micro-LED显示技术由<30x30平方微米的红、绿和蓝(RGB)无机LED组成，这些LED被转化为显示屏 背板，以形成亚像素。与有机LED(OLED)和液晶显示(LCD)相比，这些高效的LED直接发射功耗更低 ，却可以为移动显示器、电视和可穿戴式计算机提供优异的亮度和对比度。Micro-LED的制造要求 优质、均匀的外延晶圆，以满足显示屏的产量和成本控制的要求。
“和竞争对手的MOCVD平台相比， Veeco的TurboDisc技术提供的制程窗口更大，因此Propel能 提一流的均匀性同时还能获得优良的膜品质，”维易科高级副总裁兼MOCVD运营总经理Peo Hansson博士这样说。“将Veeco领先的MOCVD专业技术和ALLOS的硅基氮化镓外延晶片技术相结合 ，使我们客户能够开发出低成本的micro-LED，以便于在新的市场中开拓新的应用。”