MEMS Analysis Tool 3D动态实时分析工具

MEMS Analysis ToolMEMS Analysis Tool是一个后分析软件。它提供了量化和精确的3D空间和频率分析，时间序列的形貌图(4D)，通过DHM®同时拍摄面内和离面运动，离面运动精度达到MEMS激光测振仪精度，面内运动精度则远超MEMS测振仪精度，达到了1nm。
MEMS Analysis Tool是基于DHM数字全息显微镜一款软件，数字全息显微镜DHM基于菲涅尔衍射的重建算法，仅需0.001秒采集单张全息图即可得到实时3D形貌信息，无需扫描，在MEMS的设计与研究中有着独特的优势。此外，在形貌检测、形变测量、实时大面积形貌监测等也有广泛应用。 下载 (104.52 KB)
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测量任何MEMS参数 模式的形状 振动图：振幅与相位  位移，速度和加速度 沿着任何方向 在视野里的任何地方 对于任何结构 频率响应 电响应
  
        图1、面内和离面运动同时记录   
     
  
仿真比较和测量  在任何时间任何地方，分析您的数据 导出数据以开放格式进行高级分析 定义您自己的分析模板，以比较有效的样本批次  高效宣传您的工作 测量您以前不能测量的样本 用视频演示出版物和会议演示
  
        图2、不同频率下的谐振模态   
     
  
面内--离面运动分析在平面--离面分析中的高级算法MEMS分析工具包含了强大的算法，可以分析MEMS的三维时间序列图在面内和离面的位移。研究微小振动 边缘跟踪，傅里叶和子像素算法 平面内低至纳米 平面外低至皮米对于大位移 模型跟踪算法 在平面内大到毫米量级 离面达到数十微米复杂运动和几何图形的表征 板倾斜 旋转 移动部件有孔和结构 链接到出版物 下载 (337.31 KB)
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频域分析一个完整的频率响应分析工具箱频率响应是MEMS中最重要的特性之一。MEMS分析工具提供了在时域和频域之间切换的几种方法。这种分析可以应用于平面位移和非平面位移，也可以应用于频闪观测模块的电气记录。波德分析波德相位和振幅的关系图

Q 因子傅里叶分析从时域到频域的傅里叶变换从频域到时域的傅里叶滤波谐波分析基本的，第二，第三和第四谐波振幅应用实例：MEMS麦克风和扬声器模态分析模式形状，与模拟仿真有效的比较MEMS分析工具可以对4D地形和模式形状序列进行可视化分析。当振动的振幅比结构尺寸小得多，并且与模拟结果进行有效的比较时，这种第二表示非常有用。4D阵列分析独特的4 d分析工具MEMS工具包括有效的工具，支持动态4D数据分析。轮廓切割，网格是其他独特的工具，它将给你的设备带来新的见解，革新他们的发展。数据可以作为文本文件或视频图像序列导出。“array”工具，用于多设备分析结构阵列的快速分析个人设备之间的交叉对话适用于大型设备的配合快速分析：无需在测量前定义一个网格!“Dynamic profile cut”工具几乎是无限的积分膜破裂电压的测定多倍器件偏转的定量比较
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