MEMS Analysis Tool

采用数字全息原理，CCD记录样品全息图，根据全息图包含的相位信息实时重建三维形貌。做到了纵向亚纳米分辨率，1000fps采集速率。可以在样品上任意点测量xyz复杂运动位移、振幅、速度、频率和三维形貌等信息，还可扫频进行谐振研究。
如图所示压电陶瓷执行器，选取了三点进行xyz方向振幅位移频率等测量，采取4路正弦电源相位分别相差90°，研究其行波运动。