MEMS模块简易教程 MEMS Module Minicourse

60页英文PDF文档

C O N T E N T S
Preface 2
Solving Electro-Thermo-Mechanical Problems 3
Microresistor Beam 4
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
Model Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
Results and Discussion. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Modeling in COMSOL Multiphysics . . . . . . . . . . . . . . . . 6
Modeling Using the Graphical User Interface . . . . . . . . . . . . 7
Solving Piezoelectric Problems 22
A Piezoelectric Shear Actuated Beam 23
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Model Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
Results. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
Modeling in COMSOL Multiphysics . . . . . . . . . . . . . . . . 26
References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Modeling Using the Graphical User Interface . . . . . . . . . . . . 27
Eigenfrequency Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
Frequency-Response Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Appendix: Geometry Modeling . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Low-Voltage Electroosmotic Micropump 38
Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
Model Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41
Results and Discussion. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
Modeling in COMSOL Multiphysics . . . . . . . . . . . . . . . . 45
References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
Modeling Using the Graphical User Interface . . . . . . . . . . . . 46
Appendix—Geometry Modeling . . . . . . . . . . . . . . . . . 54

26397