MEMS技术及其应用
2011年01月11日 22:14 发布者：看门狗
MEMS 技术及其应用李德胜 等编著
出版社：哈尔滨工业大学出版社
出版日期：2002年3月
本书共有八章，在概述微机电技术的发展背景、现状及应用前景的基础上，介绍了MEMS基本理论，随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述。作为MEMS应用，分别介绍了数种典型的物理量传感器和化学量传感器的工作原理及制造工艺，对各类微操作器、微机械零件及电系统也做了比较详细的论述，最后开辟一章介绍了生物芯片相关技术。
本书可作为微电子、机电一体化、精密仪器及仪器仪表等专业高年级的教学参考书，也可供其他专业师生及有关工程技术人员参考。
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网友评论
lbbook 2011年01月15日
谢楼主分享
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hszx 2011年02月07日
:victory:
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leifu666 2011年02月10日
多谢分享 学习学习
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youyou_zh 2011年02月11日
好
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btma 2011年02月18日
原来是微机电技术呀！
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sansanlu 2011年04月03日
:victory::handshake
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guoyanjie1984 2011年05月03日
学习学习
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nudt_dhl 2011年05月11日
thanks for your sharing
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rinllow5 2011年05月18日
谢谢！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！
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4321 2011年07月25日
thx~~
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lixiongfei 2011年08月27日
好东西，一起分享！
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zhuozc 2012年01月30日
多谢
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d421011611 2012年05月16日
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kismeter 2012年12月12日
感谢
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xinger 2013年03月04日
好样的
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moguojing 2013年04月08日
thx~~~
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上网去溜溜 2013年12月04日
谢谢分享
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bijinyi 2014年05月06日
谢谢分享
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liyong7818 2014年09月01日
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lidezhen2 2014年09月26日
MEMS技术及其应用
xie xie
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zhenany 2014年09月29日
谢谢分享
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premax 2014年11月28日
谢谢。
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cdeda 2015年01月03日
thanks
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cdeda 2015年01月03日
ok
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yezhutoutou 2015年06月12日
好东西，一起分享！
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yuhuikeji 2015年12月24日
谢谢分享！！！！！！！！！！
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bijinyi 2017年05月02日
谢谢分享
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leetoun 2017年07月27日
好文，加油！
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bijinyi 2018年03月06日
不错的资料
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墨徵羽 2018年07月13日
感谢分享
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hwzhou 2020年09月25日
感谢分享
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顶一下，感谢楼主