BANNER传感器应用举例：晶片处理

■晶片盒检测
应用：检测浸没在去离子溶液中传送带上的晶片盒的到位
传感器型号：D12SN6FP配用对射式塑料光纤PIE46UT
应用举例说明：硅晶片在进行下一道工序前需装于晶片盒中通过浸润在去离子溶液中的传送带进行运输。钛氟珑外壳的塑料光纤安装于传送带两侧，光纤检测头可完全浸润在溶液中，晶片盒遮挡光纤光束后，传感器输出导通。




■晶片定位
应用：对半导体晶片“平端”进行定位
传感器型号：两支D12SN6FPY传感器及对射式塑料光纤PIF26U
应用举例说明：半导体晶片在定位夹具中进行旋转，当两束对射式光纤通路时，即检测到晶片“平端”，旋转停止，D12高速响应时间（50微秒）保证了停止位置的重复精度。




■晶片盒中晶片定位
应用：检测晶片边缘进行定位
传感器型号：PicoDot系列PD45VN6C100
应用举例说明：PicoDot系列PD45VN6C100焦距为100mm，焦点直径很小，检测极小截面的晶片边缘，检测距离应为50mm，此位置光斑稍大，同时具有更高的过量增益。