AEROTECH 推出轻薄型 XY 直线电机平台,适用于高动态和准静态应用场合

2015年09月06日 10:17    发布者:eechina
新型 PlanarDLA 线性直驱平台具有高速度和定位精确性

Aerotech (www.aerotech.com) 现已推出一系列集成开放式架构平台 ,具有精确的几何性能和微米级直线度。此款新型 Planar DLA 平台包括高精度滚柱轴承、精确加工表面和通过刚性轴心驱动的无接触直线电机,这些特点可以实现 ±0.5µm 的直线度和 ±1.25µm 的平直度。



应用包括:

    半导体制造
    电子设备制造 (LEDs)
    测试与检验
    激光加工
    金属检验
    微机械加工
    纳米技术
    医疗
    实验室
    光学计量
    晶片加工
    计量
    自动化

此款轻薄型平台的设计应用范围宽很广,可用于从高动态双面 LED 晶元加工到准静态光学计量等各种场合。该系列产品共有九种型号,以满足客户在行程和精确度方面的各种要求。

PlanarDLA 能够以 2 m/s 的速度和 2 g 加速度进行高产能、高精度加工,具有优异的加工产能和低廉的集成成本。它能够达到很高的伺服带宽,同时保持最大的有效通光孔径,并保持最小的整体高度。

Aerotech 的专属直接驱动技术提供高速度和精确定位功能,而且具有免维护和使用寿命长等特点。这些平台每轴配备有一个或两个电机,使每个轴针对具体的应用和过程达到最优化。