45nm 以下制造工艺介绍

2012年11月26日 16:10    发布者:绝对好文
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根据摩尔定理,IC上可容纳的晶体管数目,约每隔18个月便会增加一倍,性能也将提升一倍。但随着IC上晶体管的集成度越来越高,在45nm节点技术中,MOS管的栅介质厚度减小到了1.2nm,几乎只是5个硅原子的厚度,器件的物理电气性能几乎达到了极限。因此,这些困难都催生了新一代金属的诞生。在45nm技术节点处,以金属/高K介质为代表的新一代工艺技术已经开始应用于半导体产业。在32nm技术节点及以下,这些技术必将得到进一步的推广和应用。而在技术发展的过程中,半导体产业也遇到了成本研发成本不断提高,先进技术的集中化和垄断化程度越来越高的趋势,调研报告最后也对半导体产业的市场现状作了一定的总结和分析。

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