并联式四自由度定位平台性能优化

2010年02月28日 10:27 发布者：蹦蹦

摘要：为了扩展扫描电镜的用途，实现微结构物性在线检测，本文基于4-PUU并联机构设计了一种扫描电镜定位平台。其结构简单，便于集成微操作装置。为优化平台机构的性能，本文建立了4-PUU机构的空间尺寸模型，绘制了机构性能图谱，分析了机构参数对机构可达工作空间、灵巧性、速度性能的影响，得到了具有良好性能的平台机构参数。

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