“沈阳集成电路装备产业化基地”获得批准

近日，由沈阳市政府与浑南新区共同组织申报的“沈阳集成电路(IC)装备产业化基地”项目，被科技部正式批准为“沈阳国家集成电路装备高新技术产业化基地”。这是目前科技部认定的国内唯一一个国家集成电路装备产业化基地。

沈阳集成电路装备产业始建于2002年，累计投入资金4亿多元。经过多年的建设，集成电路装备生产企业已从最初的两家发展到现在的37家，其中，骨干企业达到11家，申报专利近100项。基地主导产品已在国内半导体加工、医疗器械、太阳能电池等行业得到广泛应用。

目前，沈阳集成电路装备产业基地建有集成电路装备检测、精密零部件加工和洁净技术平台，拥有目前国内唯一的集成电路装备孵化器，正在孵化的企业已达30余家。