EV集团新型多功能微纳米压印解决方案为大批量光学设备制造赋予前所未有的灵活性

EVG®7300是EV集团最先进的解决方案，能够在单个平台中结合多种紫外线工艺，包括纳米压印光刻（NIL）、透镜成型和透镜堆叠（UV键合）2022年1月19日，奥地利圣弗洛里安－－微机电系统（MEMS）、纳米技术和半导体市场晶圆键合与光刻设备领先供应商EV集团（EVG）现推出EVG®7300自动化SmartNIL®纳米压印与晶圆级光学系统。EVG7300是EV集团最先进的解决方案，在单个平台中结合了多种紫外线工艺技术，包括纳米压印光刻（NIL）、镜片成型和镜片堆叠（紫外线键合）。这部面向行业的多功能系统旨在满足多种新兴应用的研发和生产需求，这些新兴应用大多涉及微米和纳米图案成型以及功能层堆叠技术，包括晶圆级光学系统（WLO）、光学传感器和投影仪、汽车照明、增强现实耳机波导、生物医学设备、超透镜和超表面，以及光电子学应用。EVG7300支持最大300毫米晶圆尺寸，具有高精度调准、先进工艺控制和高吞吐量等优势，可满足多种自由曲面和高精度纳米和微光学元件与器件的大批量制造需求。SmartNIL®配备了增强现实波导和晶圆级显微镜头压印功能，使新的EVG®7300系统拥有广泛的应用场景产品上市信息EV集团现已开始接受该系统的订单，同时，可在EV集团总部的NILPhotonics®技术中心观看产品演示。关于 EV 集团(EVG)EV集团（EVG）是为半导体、微机电系统（MEMS）、化合物半导体、功率器件和纳米技术器件制造提供设备与工艺解决方案的领先供应商。主要产品包括：晶圆键合、薄晶圆处理、光刻/光刻纳米压印（NIL）与计量设备，以及光刻胶涂布机、清洗机和检测系统。EV集团成立于1980年，可为全球各地的客户和合作伙伴网络提供服务与支持。