如何测量半导体材料电阻率

如何测量半导体材料电阻率电阻率是决定半导体材料电学特性的重要参数，为了表征工艺质量以及材料的掺杂情况，需要测试材料的电阻率。四探针法是目前测试半导体材料电阻率的常用方法，因为此法设备简单、操作方便、测量精度高且对样品形状无严格要求。四探针法操作规范：要求使用四根探针等间距的接触到材料表面；在外边两根探针之间输出电流的同时，测试中间两根探针的电压差；最后，通过样品的几何参数，输出电流源和测到的电压值来计算得出电阻率。问题一：四探针法测试系统需要哪些设备？ 四探针法测试系统结构今天给大家介绍的四探针法测试系统主要由吉时利源表、四探针台和上位机软件组成。四探针可以通过前面板香蕉头或后面板排线接口连接到源表上。问题二：吉时利源表为何能被应用于四探针法呢？ 吉时利源表智能触屏界面提供I-V示图功能很多工程师都选吉时利公司开发的高精度源表，源于它能够简化测试连接，得到准确的测试结果。吉时利源表既可以在输出电流时测试电压，也可以在输出电压时测试电流。输出电流范围从皮安级到安培级可控，测量电压分辨率高达微伏级。吉时利源表支持四线开尔文模式，因此很适合四探针法测试。这里配置的是吉时利2400系列的源表（2450/2460）。 吉时利2400系列源表性能问题三：四探针法测试方案能带来哪些好处？ 读数便捷：系统提供上位机软件，内置电阻率计算公式，符合国标硅单晶电阻率测试标准，测试结束后直接从电脑端读取计算结果，方便后续数据的处理分析精准度高：提供正向/反向电流换向测试，可以通过电流换向消除热电势误差影响，提高测量精度值适用性强：四探针头采用碳化钨材质，间距 1 毫米，探针位置精确稳定。采用悬臂式结构，探针具有压力行程。针对不同材料的待测件，提供多种不同间距，不同针尖直径的针头选项灵活性好：探针台具备粗/细两级高度调整，细微调整时，高度分辨率高达 2 微米，精密控制探针头与被测物之间的距离，防止针头对被测物的损害