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3.2 ÎïÀí·¨ÖƱ¸Ê¯Ä«Ï©

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3.2.2 ÒºÏà»òÆøÏàÖ±½Ó°þÀë·¨

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3.3.1 »¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý·¨(CVD)

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3.3.2 ¾§ÌåÍâÑÓÉú³¤·¨(SiC ¸ßÎÂÍË»ð)

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3.3.3 Ñõ»¯»¹Ô­·¨(º¬Ñõ»¯ÐÞÊλ¹Ô­·¨)

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ÖƱ¸GO µÄ°ì·¨Ò»°ãÓÐ3 ÖÖ: Standenmaier ·¨¡¢Brodie ·¨¡¢Hummers ·¨¡£ÖƱ¸µÄ»ù±¾Ô­Àí¾ùΪÏÈÓÃÇ¿ÖÊ×ÓËá´¦Àíʯī£¬ÐγÉʯī²ã¼ä»¯ºÏÎȻºó¼ÓÈëÇ¿Ñõ»¯¼Á¶ÔÆä½øÐÐÑõ»¯¡£ÒòÕâЩ·½·¨ÖоùʹÓÃÁ˶Ի¯¹¤É豸ÓÐÇ¿¸¯Ê´ÐÔ¡¢Ç¿Ñõ»¯ÐÔµÄÎïÖÊ£¬¹ÊÏÖ½ñÓв»ÉÙGOµÄ¸Ä½øºÏ³É·½·¨¡£GO µÄ½á¹¹±È½Ï¸´ÔÓ£¬Ä¿Ç°»¹Ã»Óй«ÈϵĽṹʽ£¬±È½Ï³£ÓõÄÒ»ÖÖÈçͼ5Ëùʾ(¹ØÓÚGO »¯Ñ§½á¹¹µÄÌÖÂۿɲÎÔÄ)¡£

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4.2 ʯīϩ»ùÌ«ÑôÄܵç³Ø

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4.3 ʯīϩ»ùÄÉÃ×·¢µç»ú

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ͼ9¿ÉÍêÈ«¾íÇúµÄÄÉÃ×·¢µç»úÖƱ¸¹ý³ÌʾÒâͼ.(a)¶ÆNi¹èƬÉÏÉú³¤Ê¯Ä«Ï©;(b)ʯīϩתÒÆÖÁÈáÐÔ¾ÛºÏÎï³Äµ×;(c)Éú³¤ZnOÄÉÃ×°ôÕóÁÐ;(d)ÓëÁí

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5 ½áÂÛ

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