Queensgate推出采用电容性测微技术的高精度位置传感器

Queensgate旗下的NX NanoSensor采用电容性测微技术（micrometry），可以提供能够测量原子级别位置改变的灵敏度水平。这种先进的非接触式位置测量系统依赖于两个传感器板（sensor plates）：一个用作目标，一个用作探头，而在它们之间则形成一个平行板电容器。通过采用适当的电子控制器，这两个板之间的距离可以准确地确定.NX NanoSensor的主要应用包括阶段反馈（stage feedback）、振动测量、计量、变形测量、精密制造，漂移测量、精密波束控制和显微镜等。



NX NanoSensor能够以高于7皮米(pm)的精度来确定位置，线性度为0.02％，带宽为50Hz到10KHz.系统可以根据需要进行调整，以便改善位置精度，或者相反地提高对于动态运​​动的响应。板的形状有圆形、正方形或长方形可供选择，并提供22.5mm2、113mm2和282mm2的有效面积.NS2000控制器模块可与NX NanoSensor协同工作，能够测量平行板电容器电容的任何改变，并随后产生一个模拟电压，该电压正比于目标与探头传感器板之间位置的变化。

非接触式测量和非自加热（non-self-heating）机制意味着NX NanoSensor产品对于所测量的结果不会产生任何影响，因而能够得到真实的纳米级测量。此外，这些产品采用非磁滞技术，这意味着位置可以重复. 这些产品的制造可以选用超因瓦合金（Super-Invar）、 Zerdur、铝、不锈钢和陶瓷等多种材料，可以允许其热性能满足特定应用对于稳定性的需求，以便防止出现位置漂移，这些特定的应用包括超高真空、抗辐射（radiation hardened）、非磁性和低温等领域。